株式会社エイエルエステクノロジーは研究用各種真空装置の開発製造販売を行なっています。これまで培った独自技術と経験で高度な真空機器をカタチにしています。

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私達は極限技術を追求していきます。

私達は2000年に創業開始して以来、下記のような極限技術を応用した多くの機器の設計製造販売を してまいりました。この度、不純物ガス濃度1PPM以下の高純度環境を作るためのグローブボックス装 置を自社製品化して製品系列に加えました。これにより益々高度化されるお客様のご要求にお応えで きるようにしてまいります。


グローブボックスの自社製品化への歩み


グローブボックスとの係わりは創業開始(2000年~)から
私達は2000年に研究開発用の真空装置の製造メーカーとして創業開始をしました。 主な製品として有機デバイス用の蒸着装置の製造販売に特化してまいりました。 真空蒸着されたばかりの有機ELデバイスは大気曝露により水分を吸着し急激に性能が劣化します。そこで私達は真空蒸着装 置にグローブボックスを直付けする事により大気に曝す事なくデバイス性能測定などができるようにいたしました。以来、私 達の有機用蒸着装置の殆ど全てがグローブボックスと接続して使用されています。
2006年から 韓国KOREA KIYON社製のグローブボックスの販売事業を開始しました。
これにより蒸着装置のシステム化が進み、更に使いやすい装置になりました。私達の蒸着装置は世界的にトップを走る日本の 大学研究室、企業の研究所にお納めし累計出荷台数で200セットを超える出荷規模を誇っています。納品された製品は蒸着装 置部とグローブボックス部を総合して責任を負うになりました。現在までに出荷したグローブボックスは単体納品分を含めて 300台余をお納めしてまいりました。この間、多くの特注仕様装置にも対応してまいりました。特注要素の多いグローブボックス については当社が設計しているものも多くあります。
2019年からグローブボックスを自社ブランドとして製造販売を開始しました。
グローブボックス技術は産業を支える大事な技術であると考えています。私達は創業開始以来20年近くの長期にわたりグロー ブボックスをハンドリングしてきました。グローブボックス技術は私達のお家芸であります真空装置技術とも共通点が多くあり ます。この度、自社にて設計・製造をする事により更にお客様目線で小回りを利かした仕様、使いやすくリーズナブルな価格で ご提供していくことを目指しております。

グローブボックスの種類


通常グローブボックスと呼ばれる製品は下記のように分類されますがそれぞれ特徴があります。
当社で扱うグローブボックスは「ガス循環精製型のグローブボックス」と呼ばれている製品です。
種類 大きさ: 精製機構 内部の純度
簡易型
小型デスクトップ型が多い アクリル、ステンレス製 密封されたケースというイメージ
真空型 大型は作りにくいため小型のデスクトップ型 が多く、ステンレス製が多い。 無 後付可能 導入ガスの純度に依存
パージ型 ステンレス製で比較的大型サイズが多い。 無 後付可能 導入ガスの純度に依存
ガス循環精製型 研究用の小型サイズから最近では 4 畳半 室空間クラスの大型生産規模まで幅広く 使用されています。 精製装置と分離された構造も一般的です。 1ppm 以下を保証(水分、酸素)

ガス循環精製型のグローブボックス


基本的な構成


基本的な構成
除去したいガス種 方法 繰り返し使用 標準搭載
酸素ガス
CuO の酸化による化学反応 可能;水素ガス (*1) による還元反応
水分 モレキュラーシーブによる吸着 可能;真空中で加熱する事により 吸着した水分を除去
有機溶媒系のガス 活性炭による吸着 可能;真空中で加熱する事により 吸着した溶媒を除去 工場オプション
(*1) 再生工程には安全に取り扱いができる爆発限界以下 ( 上限 4%) まで希釈し水素ガスを使用します。
再生用のガスは常時使用しませんので装置に接続しておく必要はありません。
スタートボタンを押した後は最適再生条件に設定されたプログラムに従い自動再生され ます。

特長

1、センサーの信頼性
酸素センサーとして信頼性の高いガルバニ電池式酸素センサーを採用しております。
また酸素センサーの大気曝露(酸素曝露)を防止する目的で保護カバーを標準装備しています。

2、安全性 N2 ガス充満による酸欠事故を防ぐための保護機構。
グローブボックスは N2 や Ar 等の不活性ガス環境にて使用し内部のガス圧力は一定圧力範囲になるように制御していま す (APC 機構)。 万が一グローブが破れたりしますと内圧が下がりますので APC 機構が動作して内圧をあげようとし自動的 に N2 ガスの供給を開始します。結果として部屋中に漏れた N2 が充満し窒息するという大事故になる危険 性があります。これらの事故を未然に防ぐ為に下記の安全機構を設けています。
①N2 セイフティ機構(標準装備)
弊社独自の安全機構です。
万が一グローブの破損や圧力計が壊れた場合でもこの機構が異常を検知しガス供給を自動停止させます。
②N2 ハザードバルブ機構(オプション装備)
弊社独自の非破壊構造の安全機構です。万が一、本体供給電源ラインが停電などで動作しなかった場合や圧力センサーが 動作不良を起こした場合でも内圧異常を検知し N2ハザードバルブが開になりグローブの破裂を防ぎます。(100V 別ライン必要)

3、省エネルギー、騒音低減
グローブボックスには APC 機構を備えボックス内部の圧力を一定範囲に抑えています。その為に多くの製品は油回転真空ポンプ(もしくはドライポンプ)が常時運転されています。当社の装置の場合には真空ポンプは必要な時だけ短時間運転されるためエネルギ―の消費や騒音振動なども減少いたします。

4、使いやすくする為に(標準装備)

(1) オートパージ機構を標準装備しています。
オートパージ開始ボタンを押す事により任意に設定した酸素濃度、水分濃度にまでパージを行い自動的にガス循環モードに切り替わりますので研究 の省力化に貢献します。
(2) サービスポート
①大型サービスポート(標準)
ボックス本体の側面パネル(通常は左側面)に有効内径Ф265mm の開口部を設けておりブランク円板でカバーしています。 ブランク円板を加工することにより弊社製の蒸着装置の接続の他、多くのフィードスルーなどの取り付け用としてご利用いた だけます。
②フィードスルー NW40 規格、4 個(標準)
NW40 規格は一般的な規格ですので市販されている多くのフィードスルーの取り付けにご利用いただけます。

(3)内部の棚は本棚のように棚板の高さ調整が簡単にできます。

5、ユーザーフレンドリーな操作パネル(タッチパネル)



標準仕様

1、標準仕様(2 ポートから 4 ポート)
2 ポートから 4 ポートまではボックス寸法を除いて同一仕 様です。

2、精製器の別置タイプ
グローブボックス下部(スタンド部)の空間を有効に活用したい場合や予算上ボックス部を先に導入し精製器部をあとで増設される 場合には別置きタイプをお勧めします。(性能的には変わりません)

3、仕様表(2 ポートから 4 ポート)

グローボックス補助ツール

1、キャリヤボックス・計測チャンバー
キャリヤボックスはグローブボックス内にて処理された基板等を大気に曝露させないでボックス外部に取り出し移動させる場合に有効です。
・グローブボックスからは通常ミニアンテチャンバーから出し入れが可能になるように小型化に配慮しています。
・計測チャンバーはグローブボックス外部にて大気に曝すことなくデバイス特性を測定する場合に有効です。 これらはすべてお客様の御希望サイズの設計をいたします。
2、クライオスタット冷凍ヘッドの取り付け(特注仕様)

3、UV 露光チャンバー

4、フィールドスルー

クライオスタットのヘッド部 (グローブボックス内部) 本装置のサービスポートは NW40 標準規格ですので市販されている多くのフィードスルーが使用できます。 市販されていない特殊なフィードスルー等でお困りの場合お問い合わせください。
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