株式会社エイエルエステクノロジーは研究用各種真空装置の開発製造販売を行なっています。これまで培った独自技術と経験で高度な真空機器をカタチにしています。

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有機デバイス関連装置


有機関係トータルソリューションを目指しています。
有機蒸着装置

有機蒸着装置/クラスター装置
有機蒸着装置/クラスター装置

昇華精製装置

P-100(石英管径φ33、φ45仕様) P-100(石英管径φ33、φ45仕様)
完全ドライの排気系
緩やかな傾斜を持つ特殊設計のヒーター機構
温度傾斜のモニターが常時可能
精製状態の観察が可能

お役立ち商品

●キャリアボックスキャリアボックス
キャリアボックスとはグローブボックス内にて基板を同ボックス内に入れ、グローブボックスから取り出し移動を可能としたものです。
●計測チャンバー計測チャンバー
真空中にデバイスを入れて光の出し入れが可能
お客様のご希望仕様に合わせて製作可能です。


スパッタリング装置


スパッタリング装置
弊社ではスタンドアローン装置から蒸着機接続のマルチチャンバー装置まで種々の構造のスパッタリング装置を製造販売しております。

真空プローバー


キャリアボックス付きのプローバー
キャリアボックス付きのプローバー
真空環境内にてプローバー針を精密移動させてデバイス特性を測定するために使用します。キャリアボックスと組み合わせることにより製膜完了後の基板を空気にさらすことなく測定することが可能になります。
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