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LEIPS装置の紹介

LEIPSとは？
2012年に京都大学化学研究所の吉田弘幸博士（現千葉大学教授

サイト）が新しく開発した低エネルギー逆光電子分光法LEIPS(Low-Energy Inverse Photoemission Spectroscopy)により、世界で初めて直接的に高精度なLUMO準位測定が可能となりました。弊社は京都大学（株式会社関西TLO）との間で知的財産に対しての「実施許諾契約」を締結し、製品化いたしました。

■LE-1の特徴

逆光電子分光法の低エネルギー化により、高精度LUMO準位（電子親和力）の測定を実現しました。
【試料損傷の大幅低減】
　●照射電子の運動エネルギーを有機分子の損傷閾値とされる5eV以下とします。
【高精度LUMO準位測定】
　●デバイスと同じ薄膜試料測定可能。
　●伝導に関わる準位に電子を緩和し直接測定。
　●光電子分光法（XPS,UPS）と同等の精度実現。
　●エネルギー分解能0.5eV以下。再現性0.1eV以下。
　●測定された光スペクトルは状態密度を反映。
【簡単な装置操作】
　●超高真空仕様（10-8Pa台）ながら、試料搬送・排気・測定の操作が簡単なタッチパネル操作で自動
　　で行えます。
　●試料基板を4枚ストック（バッファー室）することにより効率的な測定が可能です。
【簡単な計測操作】
　●標準装備のLEIPSソフトにより、簡単な操作で自動計測および電子親和力の計算ができます。
【利便性・拡張性】
　●光電子分光法（XPS,UPS）とのドッキング、蒸着装置の増設などを標準で対応できます。
　●大気暴露せずに試料基板搬送可能なキャリアボックス標準装備。

照射電子の運動エネルギーをおよそ5eV以下として近紫外光検出とします。
　●有機試料の損傷回避
　●高感度の光電子増倍管の採用が可能となります。
　●Isochromatモードの採用により、高感度・高エネルギー分解能の誘電体多層膜バンドパス
　　フィルターによる分光が可能となります。
　●電子銃のカソードにエネルギー分解能の高いBaO採用。

【LEIPS計測構成図】

項目		従来のIPES	LEIPS
照射電子の運動エネルギー		5～15 eV	≤ 5 eV
検出光波長		紫外光	近紫外光（200～400nm）
光検出器	フィルター	SrF2,CaＦ2　等	バンドパスフィルター
	検出エネルギー	≥ 10eV	～5eV
	エネルギー分解能	0.4～0.8eV	～0.2eV
	検出感度	low	高い
電子銃	カソード材料	W　等	BaO
電子銃	エネルギー幅	0.6～0.7	～0.3eV
システム分解能		0.7～1.1eV	≤ 0.5eV
システム感度		低い	高い
有機材料の損傷		深刻	観測されず

【逆光電子分光（Isochromatモード）】

■LEIPSソフト標準装備
【簡単操作】
　●測定条件を入力してスタートするだけで試料電流スペクトルとLEIPS光スペクトルを自動測定。
　●測定結果を計算画面にて簡単な操作により、真空準位・電子親和力を算出できます。
【ユーザーフレンドリー】
　●計算画面上でカーソルを呼び出して任意箇所のエネルギー値を照射電子エネルギーもしくは
　　真空準位からのエネルギーに変換直読できます。
　●測定データはCSV形式で自動保存されます。お客様にて解析利用できます。

京都大学化学研究所の吉田弘幸博士（現千葉大学教授

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