株式会社エイエルエステクノロジーは研究用各種真空装置の開発製造販売を行なっています。これまで培った独自技術と経験で高度な真空機器をカタチにしています。

研究用真空装置の開発製造販売 株式会社エイエルエステクノロジー 営業カレンダー アクセス
営業時間/9:00〜18:00 Tel.042-713-3018 English
エイエルエステクノロジーのホームエイエルエステクノロジーの会社案内エイエルエステクノロジーの製品案内エイエルエステクノロジーの海外製品事業案内技術ノートエイエルエステクノロジーの展示会情報エイエルエステクノロジーのサポート情報お知らせエイエルエステクノロジーへのお問い合わせ
ホーム真空装置事業計測装置事業
製品案内

真空装置事業

計測装置事業
グローブボックス事業

真空コンポーネント事業

中古装置

計測装置事業

LEIPS装置の紹介


LEIPSとは?
2012年に京都大学化学研究所の吉田弘幸博士(現千葉大学教授サイト)が新しく開発した低エネルギー逆光電子分光法LEIPS(Low-Energy Inverse Photoemission Spectroscopy)により、世界で初めて直接的に高精度なLUMO準位測定が可能となりました。 弊社は京都大学(株式会社関西TLO)との間で知的財産に対しての「実施許諾契約」を締結し、製品化いたしました。

LEIPS装置

LEIPS装置

LE-1の特徴

逆光電子分光法の低エネルギー化により、高精度LUMO準位(電子親和力)の測定を実現しました。
【試料損傷の大幅低減】
 ●照射電子の運動エネルギーを有機分子の損傷閾値とされる5eV以下とします。
【高精度LUMO準位測定】
 ●デバイスと同じ薄膜試料測定可能。
 ●伝導に関わる準位に電子を緩和し直接測定。
 ●光電子分光法(XPS,UPS)と同等の精度実現。
 ●エネルギー分解能0.5eV以下。再現性0.1eV以下。
 ●測定された光スペクトルは状態密度を反映。
【簡単な装置操作】
 ●超高真空仕様(10-8Pa台)ながら、試料搬送・排気・測定の操作が簡単なタッチパネル操作で自動
  で行えます。
 ●試料基板を4枚ストック(バッファー室)することにより効率的な測定が可能です。
【簡単な計測操作】
 ●標準装備のLEIPSソフトにより、簡単な操作で自動計測および電子親和力の計算ができます。
【利便性・拡張性】
 ●光電子分光法(XPS,UPS)とのドッキング、蒸着装置の増設などを標準で対応できます。
 ●大気暴露せずに試料基板搬送可能なキャリアボックス標準装備。

照射電子の運動エネルギーをおよそ5eV以下として近紫外光検出とします。
 
●有機試料の損傷回避
 ●高感度の光電子増倍管の採用が可能となります。
 ●Isochromatモードの採用により、高感度・高エネルギー分解能の誘電体多層膜バンドパス
  フィルターによる分光が可能となります。
 ●電子銃のカソードにエネルギー分解能の高いBaO採用。


【LEIPS計測構成図】

LEIPS計測構成図

項目

従来のIPES

LEIPS

照射電子の運動エネルギー

5~15 eV

≤ 5 eV

検出光波長

紫外光

近紫外光 (200~400nm)

光検出器

フィルター

SrF2,CaF2 等

バンドパスフィルター

検出エネルギー

≥ 10eV

~5eV

エネルギー分解能

0.4~0.8eV

~0.2eV

検出感度

low

高い

電子銃

カソード材料

W 等

BaO

エネルギー幅

0.6~0.7

~0.3eV

システム分解能

0.7~1.1eV

≤ 0.5eV

システム感度

低い

高い

有機材料の損傷

深刻

観測されず


【逆光電子分光(Isochromatモード)】
逆光電子分光(Isochromatモード)

LEIPSソフト標準装備
【簡単操作】
 ●測定条件を入力してスタートするだけで試料電流スペクトルとLEIPS光スペクトルを自動測定。
 ●測定結果を計算画面にて簡単な操作により、真空準位・電子親和力を算出できます。
【ユーザーフレンドリー】
 ●計算画面上でカーソルを呼び出して任意箇所のエネルギー値を照射電子エネルギーもしくは
  真空準位からのエネルギーに変換直読できます。
 ●測定データはCSV形式で自動保存されます。お客様にて解析利用できます。

測定データ
詳細・カタログダウンロードはこちらから
※ダウンロードは「右クリック→対象をファイルに保存」にて行ってください。

京都大学化学研究所の吉田弘幸博士(現千葉大学教授サイト
お問い合わせ
■電話でのお問い合わせ
Tel.042-713-3018

営業時間:9:00~18:00

■メールでのお問い合わせ
お問い合わせフォーム

会社概要経営理念営業カレンダーアクセスマップ
|真空装置事業計測装置事業グローブボックス事業真空コンポーネント事業中古装置在庫即売品海外製品事業①海外製品事業②
技術ノート展示会情報サポート情報生産及び輸送体制お問い合わせフォーム個人情報保護方針
Copyright © ALS Technology co.,ltd. All rights reserved. Admin by Adart
PAGE TOP ▲