エイエルエステクノロジーは真空機器・真空装置・スパッタ装置・蒸着装置・グローブボックス等研究用各種真空装置の開発製造販売を神奈川県相模原市で行なっています。独自技術で高度な真空機器を形にしています。

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高精度LUMO準位測定,伝導帯DOS評価に!


低エネルギー逆光電子分光装置 LEIPS  LE-1シリーズ


有機材料の損傷ない高精度LUMO準位(電子親和力)測定を初めて実現!
更に無機半導体、高分子材料などへ活躍の場を拡げています。


ご予算・目的により選べる構成


LE-1 Complete LE-1 Basic LE-1 Element
3室(計測室、バッファー室、ロードロック室) 2室(計測室、ロードロック室) 1室(計測室)
試料4枚ストックバッファー室による効率的な計測。真空封止キャリアBOX装備。
シンプル構成。真空封止キャリアBOX装備。
個別の真空システムにドッキングしてご使用いただきます。

特長

計測エネルギー分解能 0.5eV以下
簡単操作(計測&エネルギー評価)を実現するLEIPSソフト搭載  
専用電子銃と専用活性化工程により安定した低エネルギー電子放出を実現。  
測定点磁場ゼロ調機構。  
各種システムとのドッキングを容易にする基板ホルダー搬送機構  
付属キャリアBOXにより大気暴露なしで基板着脱可能。  
多彩なオプション:高精度基板傾斜機構、蒸着機構etc  

複合システム化 標準対応 エネルギーダイヤグラム評価

光電子分光装置(XPS,UPS)、PYS(光電子収量分光法)装置等とドッキング実績有ります。
イオン化エネルギー Ev
ェルミ準位 Ef
バンドギャップ EG
※株式会社東京インスツルメンツ様との協業によるPYS装置との複合装置提案可能です。

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