手套箱Sagami
以合理价格提供满足期待的高性能与高功能!

产品特点
●价格实惠
通过大幅设计变更实现成本降低
●全新开发的紧凑型气体循环精制器
①催化剂再生功能(铜催化剂)
②箱体内部环境
氧气浓度≤5PPM/露点≤5PPM(-64°C以下)
再生时复杂的阀门切换由PLC自动控制
●氮气安全性保障
①氮气泄漏时自动关闭主阀门
②箱体内部氮气压力自动控制(APC)
●降低运行成本
精制剂更换可由客户自行操作
●前面板内侧采用特殊涂层
提升耐溶剂性,实现防静电功能
●扩展性
可连接本公司真空镀膜设备
符合下述尺寸时亦可连接他厂真空设备
(基板输送平台1242mm×法兰Φ265mm)
●可选配件
VOC(挥发性有机化合物)传感器等
基本规格
| 2号手套尺寸 | 气体循环精制型手套箱 | ||
| 尺寸 | 尺寸 材质 前窗(单面) 前室 手套箱 内部100V电源插座 |
宽780mm×深650mm×高1707mm(不含突出物) SUS304不锈钢 聚碳酸酯树脂 尺寸 内径Φ254mm×长度293mm Φ8英寸规格×2个、丁腈橡胶制 为客户设备供电 |
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| 微量浓度计 | 氧气浓度计1套 水分浓度计1套 VOC浓度计 |
5PPM以下 5PPM以下(露点约-64°C以下) 可选配件(可在惰性气体环境中使用) |
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| 精制机构 | 气体循环式 氧气去除专用精制剂 水分、溶剂去除专用精制剂控制 |
鼓风机强制循环 铜催化剂 多孔质过滤器 PLC自动控制 |
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| 气体安全设计 | 内部压力自动控制 氮气泄漏检测装置 |
PLC自动控制 检测气体流量并停止氮气导入 |
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| 操作 | 触摸屏输入与显示 | 精制剂再生操作 浓度显示 联锁状态显示 等 |
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| 用电 | 电力200V单相/100V 压缩空气 氮气 混合气体(含3~5%氢气) |
(100V为客户设备专用) 阀门操作用 气体循环用 铜催化剂再生用 |
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