真空设备事业

蒸镀设备系列E-200
E-200系列支持多种组合配置。 输送系统采用高定位精度的自制齿条齿轮输送装置。

有机蒸镀装置
致力于提供有机领域整体解决方案。

升华精制装置P-100
（石英管径φ33、φ45规格）
完全干燥的排气系统
特殊设计的缓坡式加热机构
可实时监测温度梯度
便于观察精制状态

实用商品

载体盒
载体盒是将基板置于手套箱内，实现从手套箱取出并移动的装置。

测量腔室
可在真空环境中放置设备并实现光信号输入输出
可根据客户需求定制规格。

溅射装置


本公司生产销售从独立式设备到连接蒸镀机的多腔室设备等各类结构的溅射装置。

真空探针台
用于在真空环境中精密移动探针以测量器件特性。
通过与载片盒组合使用，可在基板完成成膜后无需暴露于空气中即可进行测量。

通用型高温加热机构
用于在真空环境中精密移动探针以测量器件特性。
通过与载体盒组合使用，可在基板完成成膜后无需暴露于空气中即可进行测量。

规格

项目	内容	备注
加热温度	～600℃	温度监测值
有效加热范围	约40mm×40mm
加热器材料	钨	带石英板屏蔽层
加热器容量	20V,20A	500℃时约10V-11A
温度监测	K型热电偶　K热电偶	可更换类型
使用环境	真空（7×10⁻²Pa以下）
选项	～900℃规格　／　各类吸热器　／　基板托盘　等
尺寸图

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