エイエルエステクノロジーは真空機器・真空装置・スパッタ装置・蒸着装置・グローブボックス等研究用各種真空装置の開発製造販売を神奈川県相模原市で行なっています。独自技術で高度な真空機器を形にしています。

• 真空装置事業

• 計測装置事業
  • LEIPS装置の紹介
  • LEIPS選べる3タイプ

• グローブボックス事業

• 真空コンポーネント事業
• 中古装置
• 在庫促売品

有機デバイス関連装置

■昇華精製装置

P-100（石英管径φ33、φ45仕様） 完全ドライの排気系 緩やかな傾斜を持つ特殊設計のヒーター機構 温度傾斜のモニターが常時可能 精製状態の観察が可能

■お役立ち商品

●キャリアボックス キャリアボックスとはグローブボックス内にて基板を同ボックス内に入れ、グローブボックスから取り出し移動を可能としたものです。

●計測チャンバー 真空中にデバイスを入れて光の出し入れが可能 お客様のご希望仕様に合わせて製作可能です。

スパッタリング装置

弊社ではスタンドアローン装置から蒸着機接続のマルチチャンバー装置まで種々の構造のスパッタリング装置を製造販売しております。

真空プローバー

キャリアボックス付きのプローバー

真空環境内にてプローバー針を精密移動させてデバイス特性を測定するために使用します。キャリアボックスと組み合わせることにより製膜完了後の基板を空気にさらすことなく測定することが可能になります。

汎用 高温加熱機構

蒸着装置・スパッタ装置などに搭載して成膜中の基板高温加熱制御が可能。 結晶性・配向・改質などの評価に役立ちます。