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![真空装置事業](images/712-30-sink.png)
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![真空装置](images/712-sink.jpg) ![](images/0.gif)
有機デバイス関連装置![](images/0.gif)
有機関係トータルソリューションを目指しています。
■有機蒸着装置
![有機蒸着装置/クラスター装置](images/712-sink-2.jpg) 有機蒸着装置/クラスター装置
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■昇華精製装置
![P-100(石英管径φ33、φ45仕様)](images/351-syou-1.jpg) |
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P-100(石英管径φ33、φ45仕様)
完全ドライの排気系
緩やかな傾斜を持つ特殊設計のヒーター機構
温度傾斜のモニターが常時可能
精製状態の観察が可能 |
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■お役立ち商品
●キャリアボックス![キャリアボックス](images/careerbox-l.jpg)
キャリアボックスとはグローブボックス内にて基板を同ボックス内に入れ、グローブボックスから取り出し移動を可能としたものです。 |
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●計測チャンバー![計測チャンバー](images/351-keis.jpg)
真空中にデバイスを入れて光の出し入れが可能
お客様のご希望仕様に合わせて製作可能です。 |
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スパッタリング装置![](images/0.gif)
![スパッタリング装置](images/712-supa.jpg)
弊社ではスタンドアローン装置から蒸着機接続のマルチチャンバー装置まで種々の構造のスパッタリング装置を製造販売しております。 |
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真空プローバー
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![キャリアボックス付きのプローバー](images/351-puro.jpg)
キャリアボックス付きのプローバー |
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真空環境内にてプローバー針を精密移動させてデバイス特性を測定するために使用します。キャリアボックスと組み合わせることにより製膜完了後の基板を空気にさらすことなく測定することが可能になります。 |
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汎用 高温加熱機構
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蒸着装置・スパッタ装置などに搭載して成膜中の基板高温加熱制御が可能。
結晶性・配向・改質などの評価に役立ちます。 |
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仕様
項目 |
内容 |
備考 |
加熱温度 |
~600℃ |
温度モニター値 |
有効加熱範囲 |
約40mm×40mm |
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ヒータ材料 |
タングステン |
石英板シールド付き |
ヒータ容量 |
20V,20A |
500℃時約10V-11A |
温度モニター |
K type thermocouple K熱電対 |
種類変更可能 |
使用環境 |
真空(7×10-2Pa以下) |
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オプション:~900℃ 仕様 / 各種サセプタ / 基板トレー etc
寸法
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■電話でのお問い合わせ
![Tel.042-713-3018](images/204-denw.gif)
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営業時間:9:00~18:00
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■メールでのお問い合わせ
![お問い合わせフォーム](images/204-otoi-1.gif) |
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