エイエルエステクノロジーは真空機器・真空装置・スパッタ装置・蒸着装置・グローブボックス等研究用各種真空装置の開発製造販売を神奈川県相模原市で行なっています。独自技術で高度な真空機器を形にしています。

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グローブボックス事業

グローブボックス製品のご紹介




社内組立風景


グローブボックスについて20年にわたる豊富な経験を持っています。

2000年(創業時) 研究用真空機器製造販売を目的として創業開始し、以降当社の蒸着装置と他社製のグローブボックスを接続して有機デバイス製膜システムとして販売してきました。
2006年 グローブボックス事業に本格参入。
●韓国K社と契約し日本で販売開始した。
(工場を持つ商社として一般的な商社機能を超えメーカーをサポートをしてきました)
●積極的な特注対応 特注要素の多いグローブボックスは当社で基本設計をした。
●N2ガス事故を防ぐため、種々の安全機構を提案し搭載してきた。
●日本向けの品質を確保する為に当社にて受け入れ検査をしたのち出荷。
2019年5月 韓国Korea Kiyon社と円満に代理店契約解消
2019年6月~   更にお客様からのご要求にきめ細かく対応するために自社ブラントのグローブボックスの製造販売を開始し現在に至る。


(写真ご提供:山形大学様)

通常グローブボックスと呼ばれる製品は下記のように分類されますがそれぞれ特徴があります。
弊社で扱うグローブボックスは「循環精製型のグローブボックス」と呼ばれている製品です。




ガス循環精製型のグローブボックス


①基本的な構成



②精製の原理
除去したいガス種 方法 繰り返し使用 標準搭載
酸素ガス
CuO の酸化による化学反応 可能:水素ガス (*1) による再生作業
水分 モレキュラーシーブによる吸着 可能:真空中で加熱する事により 吸着した水分を除去
有機溶媒系のガス モレキュラーシーブによる吸着 可能:真空中で加熱する事により 吸着した水分を除去 オプション
(*1) 再生工程にて爆発限界以下まで希釈した水素ガスを使用します。(上限4%)
   再生工程はスタートボタンを押した後は自動にて再生され ます。


弊社グローブボックスの特長

①グローブボックスに対する豊富な経験と実績

②特注対応
当社では真空機器の特注設計に慣れた技術者が設計しておりお客様の細かいご要求にお応えしております。

③グローブボックスの安全機構を提案
 ・窒息の危険性
 ・再生時の高温部対策

④パーティクル管理(オプション/特殊構造の大型HEPA)

⑤温度管理(オプション/特殊構造のラジエーター


グローブボックス製品のご紹介


小型蒸着機の前面に接続

正面ウィンドウに強化ガラス
(標準は硬化ポリカード板)

内部に真空チャンバー追加
 
パージ型:
※精製装置はありません

弊社では小型タイプから大型グローブボックスまで多くの製品の製品を取り揃えております。詳細はお問い合わせをお願いいたします。



各種付属品

豊富なオプション(下記はほんの一例です)
1.各種フィールドスルー
基本的には真空機器用のフィードスルーを使用しますので高い信頼性が得られます。


2.クライオスタット
 

3.計測チャンバー
キャリヤボックス(大気曝露を防止するための小型チャンバーです。)
  
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