エイエルエステクノロジーは真空機器・真空装置・スパッタ装置・蒸着装置・グローブボックス等研究用各種真空装置の開発製造販売を神奈川県相模原市で行なっています。独自技術で高度な真空機器を形にしています。

研究用真空装置の開発製造販売　株式会社エイエルエステクノロジー

営業カレンダー　

営業時間／9：00〜18：00 Tel.042-713-3018

English

エイエルエステクノロジーのホーム

エイエルエステクノロジーの会社案内

エイエルエステクノロジーのホーム

エイエルエステクノロジーの製品案内

エイエルエステクノロジーの海外製品事業案内

エイエルエステクノロジーの展示会情報

エイエルエステクノロジーのサポート情報

エイエルエステクノロジーへのお問い合わせ

ホーム＞真空装置事業

製品案内

真空装置事業

計測装置事業

グローブボックス事業
- ｸﾞﾛｰﾌﾞﾎﾞｯｸｽSagami

期待に応える高性能・高機能をリーズナブルプライスで！

■特長

●	リーズナブルプライス大きく設計変更をしてコストダウンを実現
●	新規開発のコンパクトなガス循環精製器 ①触媒の再生機能（銅触媒） ②ボックス内の環境　酸素濃度≦5PPM/露点≦5PPM(-64°C以下) 　再生時の複雑なバルブ切り替えはPLC自動制御
●	N2ガスに対する安全性 ①万が一のN2ガス漏れに対して元栓を自動遮断 ②ボックス内部のN2圧力は自動で制御（APC）
●	ランニングコストの低減精製剤の交換はお客様ご自身で可能
●	前面樹脂パネル内側は特殊コーティング耐溶剤性向上、静電防止を実現
●	拡張性当社の真空蒸着装置に接続可能下記寸法にあえば他社製の真空装置にも接続可能（基板搬送レベル1242mm×フランジΦ265mm）
●	オプション VOC（揮発性有機化合物）センサー等

■基本仕様

	項目	詳細
	2グローブサイズ	ガス循環精製型グローブボックス
寸法	寸法材質前面ウィンドウ（片面）アンテチャンバーグローブ内部100Vコンセント	W780mm×D650mm×H1707mm(突起物含まず) SUS304 ポリカーボネート樹脂サイズ内径Φ254mmx長さ293mm Φ8インチ規格×2個、ブテルゴム製お客様機器に電源供給
微量濃計	酸素濃度計1式水分濃度1式 VOC濃度計	5PPM以下 5PPM以下(露点約-64°C以下) オプション(不活性ガス雰囲気にて使用可能)
精製機構	ガス循環式酸素除去用の精製剤水分、溶剤除去用の精製剤制御	ブロワーによる強制循環銅触媒多孔質フィルター PLCによる自動制御
ガス安全設計	内部圧力自動制御 N2ガス漏れ検出機構	PLCによる自動制御ガス流量を検知しN2導入停止
操作	タッチパネル入力・表示	精製剤の再生操作濃度表示インターロック表示等
用力	電力200V単相／100V 圧縮空気 N2ガス Mixガス（3〜5％水素）	(100Vはお客様機器用) バルブ操作用ガス循環用銅触媒の再生用

■電話でのお問い合わせ

営業時間：9:00～18:00

■メールでのお問い合わせ

｜会社概要｜経営理念｜営業カレンダー｜アクセスマップ｜
｜真空装置事業｜計測装置事業｜グローブボックス事業｜真空コンポーネント事業｜中古装置｜在庫即売品｜海外製品事業①｜海外製品事業②｜
｜技術ノート｜展示会情報｜サポート情報｜生産及び輸送体制｜お問い合わせフォーム｜個人情報保護方針｜
Copyright © ALS Technology co.,ltd. All rights reserved.