回転型ケルビンプローブシステムRKP-1
仕事関数＆表面電位の高精度・リアルタイム測定を実現！
主な用途
金属・半導体清浄表面の仕事関数（フェルミ準位）測定
有機半導体の表面電位の成膜中リアルタイム測定
特長
●高精度回転電極による高分解能測定
●真空対応：大気の影響を受けない安定した計測が可能
●振動型では困難な成膜中の仕事関数＆表面電位のリアルタイム測定を実現
●ヘテロ界面でのバンドベンディングや極性分子蒸着膜の配向分極を評価可能
●簡単操作の計測ソフト
温度、圧力等のデータ取り込み可能
基本構成
基本仕様
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| 回転電極部外形 | W105mm×D80mm×H75mm |
| 計測基板 | 計測基板□10mm×20mm（計測部□10mm×10mm） |
| 回転（リファレンス）電極 | 材質：SUS-304 2翼（30degs×2）回転数0〜30[rpm] |
| 用力 | AC100V 15A |
オプション
●真空機器やその他の機器への設置・制御対応
●RKP計測データへの他データの取り込み（膜厚データ、圧力データ等）
●回転電極特注対応
※RKP-1は国立大学法人 千葉大学先進科学センター 石井研究室（石井久夫教授、大原正裕博士）の技術指導のもとに製品化しました。
お問い合わせ
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