エイエルエステクノロジーは真空機器・真空装置・スパッタ装置・蒸着装置・グローブボックス等研究用各種真空装置の開発製造販売を神奈川県相模原市で行なっています。独自技術で高度な真空機器を形にしています。

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有機デバイス開発用・蒸着装置 E-100S

今回、有機デバイス開発のスタンダードモデルと言われています蒸着装置E-100Jを中古装置として販売するために在庫することにいたした。

主要仕様について下記の表に記載しました。
現在の装置にはグローブボックスは付属しません。将来、弊社製のグローブボックスをお求めいただければ大気曝露しないで製膜後の基板をグローブボックス室まで移動させたり、有機と無機用の蒸着マスクを独立交換する事が可能になります。

弊社製・有機デバイス研究装置の中古品についてお問い合わせをいただくことがありますが残念ながら弊社も含めて弊社装置を中古市場にて探すことは困難だと思われます。
①弊社の装置は目的に合わせてビルドアップできるため将来にわたりお使いになれる。
②お客様同士で装置を売買されている。
 等でしょうか。

中古機としては入手しにくい製品ですので是非この機会にご検討ください。

装置の主な仕様(E-100S)
装置型名 E-100S
最大基板サイズ 最大100mmx100mmx1枚
マスク、基板の独立交換可能
(*1)
蒸発源 抵抗加熱源8源(放射状配置)
同時蒸着可能  (2源)
膜厚センサー 2式
排気系 ターボ分子ポンプ(排気操作自動)
グローブボックス接続 可能(グローブボックスは含みません)













(*1) 大気曝露しないで基板やマスクの交換をする場合にはグローブボックスやロードロック室の接続が必要になります。

内部

基板ホルダー(回転)

搬送系付属(グローボックスは付属しません)

※弊社は神奈川県公安委員会認定[古物商]の資格を有しています。
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